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MCG303MEMS可燃气体传感器

【性能特点】:
MEMS工艺、结构坚固 低功耗
【应用领域】:
适用于手机、电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏

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  • 产品介绍
产品描述

MEMS 可燃气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热 板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物 半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时,传感器的电导率 随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高,传 感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换 为与该气体浓度相对应的输出信号.

性能特点

MEMS工艺、结构坚固 低功耗、高灵敏度 快速的响应恢复特性 简单的驱动电路.
 

灵敏度特性


 

传感器结构示意图

主要应用

适用于手机.电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏;也适用于用于家庭、商业用所的可燃气体泄漏 监测装置、气体检漏仪、防火/安全探测系统。
 

技术指标

气敏元件特性

符号

标准值

最小值

最大值

单位

传感器电阻

R0

-

100

1500

气体(CH4)检测浓度

FS

-

1

10000

ppm

灵敏度

S50

-

1.2

50

-

 

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