电话:0512-62626885 / 62626887

  邮箱:leanstar@leanstar-tech.com

当前位置:主页 > 产品中心 > 智能配套 > MEMS微热板 > GFS001热式气体流量传感芯片

GFS001热式气体流量传感芯片

【性能特点】:
GFS001MEMS气体流量传感芯片灵敏度高,不受干挠,可以承受强烈震动
【应用领域】:
电子烟、家用燃气、医疗呼吸机、汽车电子、工业控制

产品资料下载

  • 产品介绍
产品描述

气体流动带动所经过的热量,使热场分布产生漂移,根据测量热场分布的偏移量,计算出流经气体的流量。本设计采用多晶硅发热,高灵敏度硅-铝热电堆测温,利用先进的微机电系统(MEMS)加工技术,在硅基上制作出悬空薄膜结构,具有极低功耗和小体积、易集成等特点。
 

热式气体流量传感原理示意图


 

性能特点

热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高,不受干挠的优点外,还不像二极管和三极管测温, 需要外加偏压,因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移,使测量变得简单。

独到的隔热底座设计不用薄膜或表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动,耐高压,耐腐蚀,耐流体中颗粒的冲撞和磨损.
 

电路示意图

引脚定义

主要应用

电子烟、家用燃气、医疗呼吸机、汽车电子、工业控制

技术指标

芯片尺寸

1.5×3×0.3mm3

测温单元

热电堆

结构

绝热膜式

加热电阻

280±30Ω

绝热区尺寸

0.5×1mm2

功耗

≤10mW

加热电压

2V

量程

-50~+50SLM

误差

≤5%

响应时间

≤10ms

适用温度

-40~+120℃

适用湿度

0~95%RH

寿命

两年


苏州能斯达拥有国内柔性传感器行业最专业的研发生产团队,竭诚为广大客户提供优质的柔性传感器和先进的传感器应用方案。如需帮助请拨打 0512-62626885或点击在线客服,立即咨询!